一、環(huán)境與防震（基礎(chǔ)前提）

 

防震：必須放置在光學(xué)氣浮隔振臺上，確保臺面浮起、氣壓穩(wěn)定；禁止在儀器附近走動、敲擊、開關(guān)門，避免振動導(dǎo)致測量漂移或探針損壞。

 

溫濕度：保持實驗室溫度20–25℃、波動≤±1℃/h，濕度40%–60%；遠離空調(diào)出風口、加熱器、陽光直射，防止熱脹冷縮影響精度。

 

防塵：儀器不用時蓋防塵罩；實驗室保持潔凈，減少粉塵進入光學(xué)與機械系統(tǒng)。

 

供電：使用穩(wěn)壓電源+UPS，避免電壓波動或突然斷電損壞主板與傳感器。

 

二、探針系統(tǒng)（最核心、最易損）

 

嚴禁觸摸針尖：金剛石針尖（常用2μm/5μm/12μm）極脆，手指觸碰、碰撞極易導(dǎo)致懸臂斷裂、針尖崩缺，維修成本很高。

 

清潔針尖：

 

每次測量后，用無塵棉簽蘸無水乙醇/異丙醇，單方向輕擦針尖側(cè)面，禁止來回摩擦或用力按壓。

 

測量粘性樣品（如未固化光刻膠）后，立即清潔，防止殘留物粘連改變針尖有效半徑。

 

探針歸位：測量結(jié)束后，務(wù)必將探針抬起（Up）并歸位，避免長時間壓在樣品臺導(dǎo)致懸臂疲勞變形。

 

針壓檢查：每日使用前做力校準，常規(guī)樣品設(shè)置1–5mg接觸力；禁止過大針壓劃傷樣品或加速針尖磨損。

 

三、樣品臺與機械系統(tǒng)

 

樣品臺清潔：每次使用后，用無塵布擦去碎屑、粉塵；真空吸附孔定期用細針清理堵塞，確保吸附力均勻。

 

樣品要求：

 

樣品表面必須清潔、干燥、無尖銳凸起，避免劃傷針尖。

 

薄片/柔性樣品需完全貼合臺面，防止懸空導(dǎo)致探針“跳崖”。

 

禁止測量高度差>200μm、坡度>45°的結(jié)構(gòu)。

 

導(dǎo)軌潤滑：按手冊周期（通常半年）對機械導(dǎo)軌加專用潤滑脂，防止干澀導(dǎo)致“爬行”（掃描曲線鋸齒化）。

 

四、光學(xué)與電子系統(tǒng)

 

光學(xué)窗口：用專用鏡頭紙+光學(xué)清潔液單方向輕擦，禁止反復(fù)擦拭或用普通紙巾，避免劃傷鍍膜。

 

光源檢查：LED光源壽命長，但亮度下降、測量時間變長時需更換；更換后必須重新校準。

 

電纜與接口：定期檢查數(shù)據(jù)線、電源線是否牢固，無破損、松動；插拔時輕拿輕放，避免拉扯。

 

五、校準與軟件維護（保證精度）

 

每日校準：開機預(yù)熱15分鐘后，做零點校準+力校準，使用標準臺階塊驗證。

 

每周/每月校準：用NIST可追溯標準樣做臺階高度、粗糙度校準，記錄數(shù)據(jù)，偏差超差時聯(lián)系工程師。

 

軟件維護：定期備份測量數(shù)據(jù)與參數(shù)；按官方指引更新軟件，更新前備份設(shè)置。

 

六、開關(guān)機與長期存放

 

開機：先開氣浮臺→主機→電腦→軟件，預(yù)熱15分鐘再測量。

 

關(guān)機：先抬探針→退出軟件→關(guān)電腦→關(guān)主機→關(guān)氣浮臺，蓋防塵罩。

 

長期存放：探針歸位、清潔儀器；環(huán)境保持溫濕度穩(wěn)定，定期開機通電驅(qū)潮。

 

七、常見禁忌

 

禁止用手摸針尖、光學(xué)鏡片、樣品臺工作面。

 

禁止測量未固化、粘性、帶腐蝕性的樣品。

 

禁止在未抬探針時移動樣品或調(diào)節(jié)臺面。

 

禁止隨意拆卸機械、光學(xué)、電子部件，故障聯(lián)系布魯克售后。