布魯克(Bruker)Dektak系列臺(tái)階儀(如XT、Pro)采用自對(duì)準(zhǔn)強(qiáng)磁夾具設(shè)計(jì),探針安裝/拆卸全程無(wú)需工具、無(wú)需螺絲、無(wú)需校準(zhǔn),核心是用探針更換手柄(ProbeChangerTool)配合磁力吸放。
一、準(zhǔn)備(安全第一)
軟件中執(zhí)行ProbeUp(抬針)→探針完全抬起、脫離樣品臺(tái)
關(guān)閉測(cè)量程序、鎖定電機(jī);戴無(wú)粉丁腈手套,嚴(yán)禁裸手碰針尖
準(zhǔn)備:新探針(帶保護(hù)套)、探針更換手柄、無(wú)塵紙、異丙醇
二、拆卸舊探針
手柄前端有強(qiáng)磁頭,垂直對(duì)準(zhǔn)探針夾具上方,輕貼、不按壓
順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)手柄(約90°,至綠色指示)→磁力吸住探針底座
垂直向上平穩(wěn)提起,探針即脫離夾具(無(wú)卡扣、無(wú)螺紋)
立即將舊探針插回保護(hù)座,避免針尖磕碰、污染
用無(wú)塵棉簽蘸異丙醇單向輕擦夾具金屬面,清潔干燥
三、安裝新探針
取新探針(不碰針尖、不碰懸臂),保持垂直向上
手柄吸住新探針底座→垂直對(duì)準(zhǔn)夾具中心、緩慢下放
到底后逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)手柄(約90°)→磁力釋放、探針被夾具強(qiáng)磁吸緊
垂直平穩(wěn)移走手柄;輕晃手柄確認(rèn)探針已牢牢固定
軟件執(zhí)行ProbeDown/Calibrate(自動(dòng)針高校準(zhǔn))
四、關(guān)鍵禁忌(必看)
?嚴(yán)禁手捏針尖/懸臂、斜拉/晃動(dòng)、用力按壓
?禁止在探針未抬起時(shí)換針(易斷懸臂)
?禁止用鑷子、螺絲刀等工具直接夾取探針
?全程垂直操作、磁力吸放、自對(duì)準(zhǔn)、免校準(zhǔn)
五、快速校驗(yàn)
軟件看ProbeStatus(Ready)
手動(dòng)微抬樣品臺(tái),觀察探針靈活回彈、無(wú)卡滯
做標(biāo)準(zhǔn)片臺(tái)階測(cè)試(如1μm標(biāo)準(zhǔn)片)